中电科电子装备集团有限公司（以下简称“电科装备”）

成立于 2013 年 8 月，是在中国电子科技集团有限公司二所、

四十五所、四十八所三个国家级研究所基础上组建成立的

二级成员单位，属中国电子科技集团有限公司独资公司，

注册资金 24.5 亿元，注册地为北京市经济技术开发区。

电科装备是我国以攻克半导体装备关键技术，解决电

子元器件制造工艺装备短板问题为主责、高端电子制造装

备研发与产业化为主业的科研生产骨干单位。

多年来，利用自身雄厚的科研技术和人才优势，形成

了以离子注入机、平坦化装备（CMP）等为代表的微电子工

艺设备研究开发与生产制造体系，涵盖材料加工、芯片制

造、先进封装和测试检测等多个领域。拥有国家第三代半

导体技术创新中心、国防科技工业有源层优化生长技术创

新中心、国家光伏装备工程技术研究中心、中国-埃及可再

生能源国家联合实验室等国家及省部级创新中心 34 个，拥

有国家及省部级“专精特新”企业 8 个。